Quality DLC Deposition
dlcコーティングは、スパッタリング、イオンビーム、陰極アーク、電子ビーム、レーザー、PACVDなどのさまざまな蒸着方法を使用して堆積できます。 NCTは私達のパートナーを使用してカーボンコーティングのような私達のダイヤモンドを沈殿させるPVDおよびPACVDを結合するHEFのグループの特許を取られた技
この技術により、フィルム品質を犠牲にすることなく、DLCコーティングを大規模な生産機械に堆積させることができます。 HEFの特許技術により、同じシステムにPVD層と高密度で均一なPACVD層を堆積させることができます。 このプロセスは、PVD層からDLC層に移行し、優れた層間接着性と基板への優れた接着性を示すフィルムをシームレスに製造します。 NCTが利用するPACVDプロセスはあなたのプロダクトの表面の終わりに対する顕著な効果をもたらさないDLCのコーティングを沈殿させる。
コーティングプロセス
製品を固定カルーセル上のステンレス鋼真空チャンバに入れ、チャンバを排気する。 プロセスの予熱段階はコーティングのための基質を調節し、沈殿プロセスが始まる前に材料によって吸収される湿気すべてがoutgassedことを保障する。
予熱サイクルが完了した後、プロセスはイオンエッチング相に移行し、アルゴンガスからのイオンを生成物に衝撃させ、表面をスクラブまたはスパッ イオンによる表面のこのごしごし洗うことは表面をきれいにし、基質へのコーティングの付着を改善します。
基板をスパッタ洗浄した後、プロセスはコーティング段階に移行します。 最終使用時に製品の性能を向上させるために初期層(下地層)が必要な場合は、HEFグループが開発した高エネルギースパッタリングプロセスを使用して、密 下地層コーティングが適切な厚さに達すると、プロセスはdlcコーティングステップに移行し、緻密で滑らかな非晶質炭素水素化(a-C:H)層を製品表面に堆積さ
下地層
下地層は、特定のアプリケーションでコーティングの性能を向上させるために堆積することができます。
a-C:H DLCダイヤモンドライクカーボン外層PVD
蒸着下地層コーティング
下地層が必要ない場合は、dlcの密
密な滑らかなA-C:H DLCダイヤモンドのような
カーボンコーティング
コーティング相
プロセスのDLCコーテ このガスは非晶質炭素DLCコーティングのための供給源である。 HEFの特許取得済みのCAM技術を使用して、チャンバに導入された炭素運搬ガスは、補助陽極によってイオン化され、ガス中の水素と炭素の「割れ」または分離と呼ばれるものを受けます。 ガス中のイオン化された水素および炭素原子は、カルーセルに印加される電荷を伴って生成物の表面に引き込まれる。
Final Steps
電荷が加えられ、被覆される製品を運んでいるカルーセルもチャンバー内で回転し、イオン化された炭素/水素イオンを非晶質炭素ま
チャンバ内で製品を運ぶカルーセルの回転は、製品形状の複雑さと必要なコーティングの均一性に応じて、単一、二重または三重軸の回転にすることが これにより、従来のめっきプロセスとは異なり、製品の表面に均一な膜を堆積させることができます。
フィルムの特性、構造、硬度および下地層はすべて顧客の要求のために最大限に活用されるコーティングを作り出すために調整することができる。