Qualität DLC-Abscheidung
DLC-Beschichtungen können mit einer Vielzahl von Abscheidungsmethoden wie Sputtern, Ionenstrahl, Kathodenlichtbogen, Elektronenstrahl, Laser und PACVD abgeschieden werden. NCT deponiert unsere diamantähnlichen Kohlenstoffbeschichtungen mit der patentierten Technologie unseres Partners The HEF Group, die PVD und PACVD kombiniert und einige der hochwertigsten und beständigsten DLC-Beschichtungen abscheidet, die der Industrie heute zur Verfügung stehen.
Mit dieser Technologie können die DLC-Beschichtungen in großen Produktionsmaschinen abgeschieden werden, ohne die Filmqualität zu beeinträchtigen. Mit der patentierten Technologie von HEF sind wir in der Lage, PVD-Schichten sowie dichte, gleichmäßige PACVD-Schichten im selben System abzuscheiden. Unser Prozess wird nahtlos von PVD-Schichten zu DLC-Schichten übergehen und Filme produzieren, die eine ausgezeichnete Zwischenschichthaftung sowie eine ausgezeichnete Haftung auf dem Substrat aufweisen. Der PACVD-Prozess, den NCT verwendet, wird eine DLC-Beschichtung abscheiden, die keinen merklichen Einfluss auf die Oberflächenbeschaffenheit Ihres Produkts hat.
Beschichtungsverfahren
Das Produkt wird in die Vakuumkammer aus Edelstahl auf einem Fixierkarussell gegeben und die Kammer evakuiert. Das Produkt wird auf eine niedrige Verarbeitungstemperatur vorgeheizt, die (150 c) 300 F nicht überschreitet. Die Vorwärmphase des Prozesses bedingt das Substrat für die Beschichtung und stellt sicher, dass die gesamte vom Material absorbierte Feuchtigkeit entgast ist, bevor der Abscheidungsprozess beginnt.
Nach Abschluss des Vorheizzyklus geht der Prozess in die Ionenätzphase über, in der das Produkt mit Ionen aus Argongas beschossen wird, um die Oberfläche zu schrubben oder zu sputtern und Mikrooxide zu entfernen. Dieses Schrubben der Oberfläche mit Ionen reinigt die Oberfläche und verbessert die Haftung der Beschichtung auf dem Substrat.
Nach der Sputterreinigung des Substrats geht der Prozess in die Beschichtungsphase über. Wenn eine Anfangsschicht (Unterlage) benötigt wird, um die Leistung des Produkts bei der endgültigen Verwendung zu verbessern, wird der von der HEF-Gruppe entwickelte Hochenergie-Sputterprozess verwendet, um eine dichte, gut haftende glatte Unterlage abzuscheiden. Wenn die Unterschichtbeschichtung die richtige Dicke erreicht, geht der Prozess in den DLC-Beschichtungsschritt über, der eine dichte, glatte amorphe kohlenstoffhydrierte (a-C: H) Schicht auf der Oberfläche des Produkts abscheidet.
Underlayers
Underlayers können abgeschieden werden, um die Leistung der Beschichtung in bestimmten Anwendungen zu verbessern.
a-C: H DLC Diamond Like Carbon outer layer PVD
abgeschiedene Unterschichtbeschichtung
Wenn keine Unterschicht erforderlich ist, kann auch eine dichte gleichmäßige Beschichtung aus DLC direkt auf dem Substrat abgeschieden werden.
Dichte glatte a-C: H DLC Diamond like
Kohlenstoffbeschichtung
Beschichtungsphase
Während der DLC-Beschichtungsphase des Prozesses wird ein kohlenstoffführendes Gas in die Kammer eingeführt. Dieses Gas ist die Quelle für die amorphe Kohlenstoff-DLC-Beschichtung. Unter Verwendung der patentierten CAM-Technologie von HEF wird das in die Kammer eingebrachte kohlenstoffhaltige Gas durch Hilfsanoden ionisiert und unterliegt dem sogenannten „Cracken“ oder Trennen von Wasserstoff und Kohlenstoff im Gas. Die ionisierten Wasserstoff- und Kohlenstoffatome im Gas werden mit einer elektrischen Ladung, die an das Karussell angelegt wird, an die Oberfläche des Produkts gezogen.
Letzte Schritte
Das Karussell, auf das die elektrische Ladung aufgebracht ist und das zu beschichtende Produkt trägt, dreht sich ebenfalls in der Kammer und zieht die ionisierten Kohlenstoff- / Wasserstoffionen an die Oberfläche des Produkts, wodurch der amorphe Kohlenstoff- oder diamantähnliche Kohlenstofffilm gebildet wird.
Die Drehung des Karussells, das das Produkt in der Kammer trägt, kann eine einzel-, doppel- oder dreiachsige Drehung sein, abhängig von der Komplexität der Produktgeometrie und der erforderlichen Beschichtungsgleichmäßigkeit. Dadurch kann im Gegensatz zu herkömmlichen Beschichtungsverfahren ein gleichmäßiger Film auf der Oberfläche des Produkts abgeschieden werden.
Folieneigenschaften, Struktur, Härte und Unterschichten können so abgestimmt werden, dass eine für die Anforderungen des Kunden optimierte Beschichtung entsteht.